用真空检漏箱测试产品，核心是制造内外压力差，通过气泡观察、真空衰减、氦质谱三种主流方法判断密封性。

一、测试前准备（通用）

1. 样品处理

   • 清洁产品表面油污、灰尘、水分，避免干扰检漏液或示踪气体。

   • 对产品做预检漏（如简单充气泡水），排除明显大漏，提高效率。

   • 用专用治具 / 法兰固定产品，确保接口密封，必要时涂真空密封脂或用 O 型圈。

2. 设备检查

   • 确认真空泵油位正常、管路无泄漏、真空计 / 压力表校准有效。

   • 设定测试参数：真空度（-80~-95kPa，按产品要求）、保压时间（30s~10min）、判定阈值。

   • 准备检漏液（肥皂水 / 专用）、氦气、氦质谱仪（按需）。

二、三种主流测试方法（按精度选择）

方法 1：气泡法（zui常用、低成本、直观）

1. 产品放入检漏箱，wan全浸入水中（或表面涂满检漏液）。

2. 关闭箱门，锁紧密封，启动抽真空至设定值（如 - 90kPa）。

3. 保压观察：持续 30~60s，观察是否有连续气泡冒出。

4. 缓慢破真空，取出产品，标记漏点位置。

   判定：无气泡 = 合格；有连续气泡 = 泄漏。

方法 2：真空衰减法（定量、自动化、无液体）

1. 产品放入箱内，密封连接（封闭产品开口，形成独立腔体）。

2. 对箱内 + 产品内部同时抽真空至目标值（如 1Pa）。

3. 关闭抽气阀，保压计时（如 1min），记录压力变化 ΔP。

4. 系统自动计算泄漏率：泄漏率 =ΔP×V/Δt（V 为产品容积）。

5. 破真空，取出产品。

   判定：泄漏率≤标准值 = 合格；否则不合格。

方法 3：氦质谱法（超高精度、微漏检测）

1. 产品放入真空箱，连接充氦管路与氦质谱仪。

2. 箱内粗抽→精抽至高真空（≤1×10⁻⁵ Pa）。

3. 向产品内部充入高纯氦气（0.1~0.5MPa），保压。

4. 质谱仪扫描箱内环境，检测氦信号，定位漏点并计算泄漏率。

5. 回收氦气，破真空，取出产品。

   判定：泄漏率≤标准（如 5×10⁻⁷ Pa・m³/s）= 合格。

三、完整标准操作流程（通用版）

1. 装夹产品：放入箱内→固定→密封接口→关闭箱门并锁紧。

2. 抽真空：启动泵→抽至设定真空度→稳定 10s。

3. 测试保压：按方法执行（观察气泡 / 记录压力 / 检测氦气）。

4. 数据记录：真空度、保压时间、压力变化、泄漏率、结果判定。

5. 破真空：缓慢打开放气阀，平衡内外压力（防产品损坏）。

6. 取出与清洁：开门→取产品→清洁箱内与治具→关闭设备。

四、关键参数与判定标准

• 真空度：常规 - 85~-95kPa；高精度≤1Pa。

• 保压时间：小产品 30~60s；大产品 / 高要求 3~10min。

• 泄漏率阈值：

  • 一般包装：≤1×10⁻⁴ Pa・m³/s

  • 电子 / 汽配：≤1×10⁻⁵~1×10⁻⁶ Pa・m³/s

  • 半导体 / 锂电：≤1×10⁻⁸~1×10⁻¹² Pa・m³/s

• 气泡判定：无连续气泡 = 合格；有气泡 = 泄漏。

五、常见问题与解决

• 抽不上真空：检查门封、管路、产品接口是否漏气；更换密封件。

• 保压时压力回升快：产品存在泄漏；用气泡法定位漏点。

• 气泡不明显：提高真空度、延长保压时间、更换高灵敏度检漏液。

• 氦检无信号：检查氦气供应、质谱仪校准、产品充氦是否充分。

六、方法对比（快速选型）